潔凈廠房空調系統(tǒng)與一般工業(yè)建筑的空調系統(tǒng)的差異，它主要對管制區(qū)的潔凈度有非常高規(guī)定。半導體器件廠房內，在硅襯底上只需落有電路線寬1/10～1/3大小的小浮塵，就會導致處理芯片線路短路。潔凈廠房空調系統(tǒng)除對潔凈度要求很高外，還對溫度、環(huán)境濕度、振動、噪聲等都有不同水平規(guī)定。

與此同時，由于半導體器件生產工藝流程的特征，規(guī)定潔凈廠房內24小時（24h)維持對應的潔凈度，因此，清潔空調系統(tǒng)(包含通風系統(tǒng))、向其配套冷、熱源以及相應的輸送設備需每天24h運作，也與其他空調系統(tǒng)極為不一樣。使用時間增長也使之空調系統(tǒng)的節(jié)能更加具有價值和實際意義。

為了實現(xiàn)潔凈廠房空調系統(tǒng)的節(jié)能目標，可以采取一些常見的措施。例如，采用排架結構隔熱保溫，系統(tǒng)變流量，使用排風系統(tǒng)余熱回收技術，并應用有效率的制冷機組和離心水泵或風機等設備。這些措施能夠綜合運用，以制定出潔凈廠房空調系統(tǒng)的節(jié)能設計方案，以達到節(jié)能效果。與此同時，潔凈廠房空調系統(tǒng)有自己的優(yōu)勢，都有自己的系統(tǒng)軟件節(jié)能特性和方法。

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